1、旋片式多級(jí)泵:
轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在多級(jí)泵殼內(nèi)并與多級(jí)泵殼內(nèi)表面的固定面靠近,在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(gè)(或兩個(gè)以上)旋片,當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)旋片能沿其徑向槽往復(fù)滑動(dòng)且與泵殼內(nèi)壁始終接觸,此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn),可將泵腔分成幾個(gè)可變?nèi)莘e。旋片式真空泵屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用,也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。旋片泵多為中小型泵,產(chǎn)品已經(jīng)系列化。旋片泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種,一般多做成雙級(jí)的,以獲得較高的真空度。旋片泵絕大多數(shù)是單工作腔結(jié)構(gòu),常用兩個(gè)徑向滑片,也有用三個(gè)斜置滑片的。貫穿滑片真空泵也有應(yīng)用。
2、滑閥式多級(jí)泵:
在偏心轉(zhuǎn)子外部裝有一個(gè)滑閥,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動(dòng)和滾動(dòng),滑閥上部的滑閥桿能在可擺動(dòng)的滑閥導(dǎo)軌中滑動(dòng),而把泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。滑閥式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似,但兩者結(jié)構(gòu)不同。滑閥式真空泵是利用滑閥機(jī)構(gòu)來改變吸氣腔容積的,故稱滑閥泵。
3、定片式多級(jí)泵:
在多級(jí)泵殼內(nèi)裝有一個(gè)與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉(zhuǎn)子,泵殼上裝有一個(gè)始終與轉(zhuǎn)子表面接觸的徑向滑片,當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),滑片能上、下滑動(dòng)將多級(jí)泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。定片式真空泵抽速較小,有單級(jí)、雙級(jí)之分,雙級(jí)泵的極限真空可達(dá)10-1Pa。多級(jí)泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用壽命較長(zhǎng)和檢修容易,但由于其工作性能不如旋片泵,所以目前已經(jīng)很少生產(chǎn)和應(yīng)用。
4、余擺線式多級(jí)泵:
在多級(jí)泵腔內(nèi)偏心裝有一個(gè)型線為余擺線的轉(zhuǎn)子,它沿泵腔內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)并將泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。泵的動(dòng)平衡性好,所以多級(jí)泵運(yùn)轉(zhuǎn)較平穩(wěn)、振動(dòng)亦小,轉(zhuǎn)速可以提高,可以做到尺寸小、抽速大,適合發(fā)展為大抽速的機(jī)械多級(jí)泵。由于吸氣管路短而粗,有利于提高低壓力下的抽速。
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